納入事例

導入背景

東京エレクトロンのPrexa™ MSは、先進DRAM向けに開発された全自動300mmウェハプローバであり、高精度かつ高スループットな検査を実現する中核装置です。近年のメモリデバイスの高集積化に伴い、テストピン数の増加や発熱量の増大といった課題が顕在化しており、これに対応するためには高負荷環境でも安定動作する制御及び通信基盤が不可欠となっています。Prexa™ MSは最大1000kgの高負荷対応と精密制御を備え、高度な自動化によって生産性と品質の両立を実現しています。

ソリューション

こうした高度な要求に対応するため、Volktekの産業用スイッチINS-8408AがPrexa™ MSに採用されました。INS-8408Aは、高信頼性・高安定性を兼ね備えた設計により、半導体製造の厳しい環境下でも安定した通信を提供します。装置内の制御ユニット間におけるLAN通信を最適化し、DRAMテスト時に発生する大量データの高速且つ確実な処理を実現します。

導入効果

VolktekスイッチINS-8408AをPrexa™ MSシステムに統合したことにより、先進的な半導体製造におけるネットワーク技術の有効性が実証されました。INS-8408Aは高負荷・高性能な半導体テスト環境に対応し、安定かつ信頼性の高いネットワーク通信を実現します。この統合により、テストデータのシームレスな転送と管理が可能となり、高スループット生産における全体効率と信頼性の向上に貢献しました。

さらに、INS-8408AはPrexa™ MSのネットワーク接続性を強化し、東京エレクトロンに対して高信頼な高性能インフラを提供しました。これにより、テスト工程における正確なデータ伝送が実現され、メモリデバイス試験市場における競争力強化に寄与しています。

システム構成（上流／下流）

• 上流側：T制御サーバーや制御ユニットがテスト条件や制御信号を送信し、INS-8408Aがそれらのデータを集約・中継します。
• 下流側：INS-8408Aは処理後のデータを装置内部の各ユニットへ配信し、ウェハ搬送機構や解析システムと連携して検査プロセスを支えます。